לייזרי אקסימר מסחריים מספקים קרינה אולטרא-סגולה בהספקים ממוצעים היכולים להגיע עד 100 וואט.
מכיוון שאורך הגל הנפלט מלייזר אקסימר הוא בתחום אורכי הגל הקצרים של האולטרא-סגול, כל פוטון נפלט נושא אנרגיה רבה מאוד המספיקה לשבירת קשרים בין מולקולריים בחומרים בהם פוגעת הקרינה.
פולס קרינה מכיל מספר רב של פוטונים.
מכיוון שלכל פולס הנפלט מלייזר אקסימר יש הספק שיא גבוה, כמות האנרגיה (כמות הפוטונים) בכל פולס קצר היא גבוהה, ולכן מהווה לייזר האקסימר כלי חיתוך אידיאלי, כמעט עבור כל חומר.
יעילות לייזרי אקסימר מסחריים מגיעה לאחוזים בודדים.
עקב אורך הגל הקצר יש לקרינת לייזר האקסימר תכונות ייחודיות המתאימות אותה ליישומים מיוחדים:
- פוטוליתוגרפיה – עיבוד חומרים בדיוק גבוה ביותר (המגיע לחלקי מיקרונים).
- חיתוך רקמות ביולוגיות ללא השפעה על הריקמה הנמצאת בסמוך לאזור החתך.
- תיקון ליקויי ראיה – עיבוד המשטח החיצוני של קרנית העין כך שמתבטל הצורך בהרכבת משקפיים.
- סימון מוצרים – עקב העובדה שקרינת לייזר האקסימר נבלעת בכל חומר, ניתן עם מכשיר לייזר יחיד לבצע סימון מוצרים על חומרים שונים כגון: פלסטיק, זכוכית, מתכת, וכו'.
מחירם של לייזרי אקסימר מגיע לעשרות אלפי דולרים, ואלמלא פעולתה הייחודית של קרינת לייזר האקסימר, ספק אם היו משתמשים בו.
