לייזרי אקסימר פולטים קרינה בתחום האולטרא-סגול, והקרינה נפלטת מהם רק בצורת פולסים.

משך הפולסים נע בין פיקושניות למיקרושניות (10^-12-10^-6 שניות).

לייזרי אקסימר פועלים בלחץ גבוה של גאז בשפופרת: 1-5 אטמוספירות.

הגאז מורכב מתערובת המכילה:

• כמות קטנה של הלוגן: 0.1-0.2%.
• כמות קטנה של גאז אציל (ארגון קריפטון או קסנון): 1-9%.
• יתרת הגאז – מעל 90%, גאז אציל: נאון או הליום.

אטומי ההלוגן יכולים להתקבל ממולקולות הלוגן כגון: F₂, Cl₂, Br₂, או ממולקולות המכילות הלוגן כגון: HCl, NF₃.

היתרון בשימוש בתרכובת ולא בהלוגן טהור נעוצה בעובדת הפעילות הכימית החזקה של מולקולות ההלוגן ובמיוחד הפלואור.