עירור של לייזר אקסימר מבוצע על ידי העברת פולס חשמלי חזק בתערובת הגאזים.

עירור לייזר אקסימר חייב להיות בקצב מהיר, ובעוצמות חזקות החל מסדר גודל של: 100 קילוואט לסמ"ק ועד מספר מגאוואט לסמ"ק.

האלקטרונים בשפופרת מואצים כתוצאה מהמתח החשמלי, מעבירים את האנרגיות שלהם למולקולות הגאז בהתנגשויות, ושוברים את מולקולות ההלוגן והגאז האציל ליצירת הקומפלקס המעורר במצבו הקשור.

ניתן לשפר את השאיבה אם קודם מייננים את תערובת הגאזים באמצעות קרני X.

קצב השאיבה הוא מסדר גודל של 1 ג'יגהוואט לליטר נפח התפרקות.

משך קיום המצב המעורר הוא מסדר גודל של 10 ננושניות, ולכן משך הפולס הנפלט מהלייזר מוגבל לעשרות ננושניות.