קיימים מספר לייזרי אקסימר, שכל אחד מהם פולט אורך גל אופייני, כמפורט בטבלה 1.
| אורך הגל [nm] | הלייזר |
|---|---|
| 175 | ArCl |
| 193 | ArF |
| 248 (275) | KrF |
| 351, 353, (460) | XeF |
| 222 (240) | KrCl |
| 308, 351 | XeCl |
| 282 (300) | XeBr |
טבלה 1: לייזרי אקסימר מסחריים
קיימים מספר לייזרי אקסימר, שכל אחד מהם פולט אורך גל אופייני, כמפורט בטבלה 1.
| אורך הגל [nm] | הלייזר |
|---|---|
| 175 | ArCl |
| 193 | ArF |
| 248 (275) | KrF |
| 351, 353, (460) | XeF |
| 222 (240) | KrCl |
| 308, 351 | XeCl |
| 282 (300) | XeBr |
טבלה 1: לייזרי אקסימר מסחריים
